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乐鱼平台信誉好:压电薄膜换能器与微系统

发布日期:2024-06-11

主 题:压电薄膜换能器与微系统

吴涛,上海科技大学研究员、博导;上海市教委高层次人才。2011年博士毕业于美国加州大学洛杉矶分校。毕业后曾供职于英特尔,以博士后研究员身份加入美国斯坦福大学和东北大学。于2017年7月加入上海科技大学,建立了上科大微系统与先进传感器实验室(SMALL)。科研方向包括微纳机电系统MEMS/NEMS,压电射频/超声器件,先进集成电路工艺,以及MEMS-CMOS集成微系统。吴博士是IEEE高级会员,长期受邀担任多个国际期刊和会议的审稿人和程序委员会委员,先后主持了国家自然科学基金、上海市科委、江苏省重点研发计划等多项科研项目,已经在包括(NPG) Microsystems & Nanoengineering, Nature Comm., JMEMS, IEEE Elec. Devi. Lett., Appl. Phys. Lett., IEEE T-UFFC, IEEE MEMS, TRANSDUCERS, SENSORS等国际著名期刊和会议上发表学术论文100余篇,H-index 26。

时 间:2024年6月11日 (周二) 16:00-17:00

地 点:知新楼C702量子报告厅

邀请人:苏文斌 卢红旺


摘要:

基于氮化铝(ALN)薄膜的压电器件广泛应用于射频、超声和医学成像领域,例如薄膜体声波谐振器(FBAR)和压电微型超声换能器(PMUT)。近年来,钪掺杂氮化铝(AlScN)因其能提升压电性能而得到了广泛研究,较高的机电耦合因子有助于开发高性能的宽带谐振器、能量收集器和声学传感器。本次报告将介绍课题组在压电薄膜换能器、声学延迟线、光声成像及以及新兴研究领域的最新进展。



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